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- 2023-07-07 发布于四川
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一种离子导向器包括电极，所述电极沿着轴线从入口端到出口端伸长并且绕所述轴线间隔开以围绕内部。所述电极具有多边形形状，所述多边形形状具有设置在距所述轴线一个半径处的内表面并且具有与由所述电极内切的圆相切的电极宽度。所述电极宽度与所述半径的纵横比沿着所述轴线变化。所述电极被配置成在所述内部中生成二维RF电场，所述二维RF电场具有多极成分，所述多极成分包括一个或多个低阶多极分量和一个或多个高阶多极分量并且根据变化的所述纵横比沿着所述轴线变化，并且所述二维RF电场具有沿着所述轴线变化的RF电压幅值。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871286 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110722780.0
(22)申请日 2021.06.28
(30)优先权数据
63/046,66
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