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- 2023-07-12 发布于四川
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一种全频段误差收敛的激光修形方法，步骤为：首先基于激光修形模拟结果，确定致密化‑熔融效应的脉宽范围，从而获取脉宽范围内的修形深度；然后提取初始面形数值，将单个激光点集束成激光加工子区域，把区域内各点深度取平均值，获得修形平均深度点图；根据脉宽与修形深度的关系将修形平均深度点图转化为脉宽点图；然后设置声光调制器信号，通过控制激光加工子区域的重叠扫描路径，实现全频段收敛的高精度修形。本发明不需要任何附加成本，仅需控制脉宽并按照重叠路径扫描，即可实现全频段误差收敛。该方法扩展了激光加工的应用场景，并提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116408535 A
(43)申请公布日 2023.07.11
(21)申请号 202310411740.3
(22)申请日 2023.04.18
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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