金刚石涂层机械密封环的制备与抛光特性研究.pdfVIP

2017年 9月 润滑与密封 Sep．2017 第 42卷 第 9期 LUBRICAT10N ENGINEERING V01．42No．9 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2017．09．007 金刚石涂层机械密封环 的制备与抛光特性研究 雷学林 何 云 孙方宏 (1．华东理：【大学机械与动力工程学院 上海 200237；2．上海交通大学机械与动力工程学院 上海 200240) 摘要：为延长机械密封环的工作寿命，采用热丝化学气相沉积法在碳化硅陶瓷机械密封环工作表面涂覆具有耐磨 减摩特性的、厚度30～50Ⅳn微米金刚石 (MCo)、纳米金刚石 (NCD)和微纳米金 罔Ij石 (MNCD)薄膜。分析结果 表明：MCD薄膜的拉曼光谱具有明显的多晶金刚石特征峰，NCD和MNCD薄膜的拉曼光谱中出现了代表石墨和不定 型碳的G峰和 D峰。利用平面抛光实验 ，对 比MCD、NCD和 MNCD涂层机械密封环后续处理的抛光特性。实验结果 表明：MNCD涂层抛光效率高且耐磨损性能优异，其综合使用性能优于MCD和NCD涂层 更适合涂覆在机械密封环 表面 ，以增强其耐磨损性能。 关键词：金刚石薄膜：机械密封环；拉曼光谱；抛光性能 中图分类号：TB43：TH117．1 文献标志码 ：A 文章编号：0254—0150 (2017)09—034—04 Fabrication andPolishingPropertiesofDiamondCoated M echanicalSeals LEIXuelin HEYun SUN Fanqhong (1．DepartmentofMechanicalandPowerEngineering，EastChinaUniversityofScienceandTechnology，Shanghai 200237，China；2．DepartmentofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：Inordertoprolongtheworkinglifeofmechanicalseals，themicrocrystallinediamond(MCD)，nanocrystal— linediamond(NCD)andmicro／nanocrystallinediamond(MNCD)filmswithexcellentwearresistanceandlowfriction coefficientweredepositedontheworkingfacesofsiliconcarbidemechanicalsealsbychemicalvapordepositionmethod． TheresultsofRaman spectrum analysisshow thatthethicknessofas—depositedMCD，NCD andMNCD fihnsisallabout 30-50 m．TheRaman specturm ofMCDfilm showsdistinctpeakofcrystallinediamond，whiletheG andD peaksrepre— sentinggraphiteandamorphouscarbonarepresentedintheRamanspectraofNCDandMNCDfilms．Thesubsequentpolis— hingpropertiesofMCD，NCDandMNCDcoatedmechanicalsealswerecomparativelystudiedbytheplanepolishingexper— iments．TheexperimentalresultsindicatethattheMNCDcoatingexhibitshigherpolishingefficiencyandexcellentwearre— sist