第十三章透射电子显微分析.pptVIP

分析型透射电子显微镜 利用电子束与固体样品相互作用产生的物理信号开发的多种分析附件，大大拓展了透射电子显微镜的功能。由此产生了透射电子显微镜的一个分支——分析型透射电子显微镜。 当前第30页\共有55页\编于星期三\11点 分析型透射电子显微镜 当前第31页\共有55页\编于星期三\11点 分析型透射电子显微镜 当前第32页\共有55页\编于星期三\11点 超高压电镜 当前第33页\共有55页\编于星期三\11点 13.2 样品制备 TEM样品可分为间接样品和直接样品。 要求： （1）供TEM分析的样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约100～200nm为宜。 （2）所制得的样品还必须具有代表性以真实反映所分析材料的某些特征。因此，样品制备时不可影响这些特征，如已产生影响则必须知道影响的方式和程度。 当前第34页\共有55页\编于星期三\11点 13.2.1 间接样品(复型)的制备 对复型材料的主要要求： ①复型材料本身必须是“无结构”或非晶态的； ②有足够的强度和刚度，良好的导电、导热和耐电子束轰击性能。 ③复型材料的分子尺寸应尽量小，以利于提高复型的分辨率，更深入地揭示表面形貌的细节特征。 常用的复型材料是非晶碳膜和各种塑料薄膜。 当前第35页\共有55页\编于星期三\11点 制备复型的材料应具备的条件 当前第36页\共有