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- 2023-07-31 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅片承载用石英舟，包括主架体，主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行；上述一对侧架分别包括：两端分别与上述一对端板连接、且与该对端板垂直的平置顶杆，以及顶端与该顶杆底面连接、且沿该顶杆长度方向等间距依次设置的一排竖置隔板；相邻两隔板之间形成可供硅片侧边插放的竖向主插槽；顶杆位于侧围顶部；各隔板的底边与底架持平；上述一对侧架的主插槽对应配合。本实用新型的石英舟既适于承载硅片整片，又适于承载硅片分片，且能适应多种尺寸规格的分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209947812 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
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