SJT 11185-1998蒸发镀膜设备通用规范.pdf

ICS 31.020L 97SJ备案号：2088-1998中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11185- 1998蒸发镀膜设备通用规范general specification for vapour coating equipment1998-03-11发布1998-05-01实施中华人民共和国电子工业部发布 前言本标准是根据电子工业部九九六年标准制修订计划的要求,对 SI 1224一77真空蒸发设备通用技术条件进行修订。本版本对原版标准的重要技术内容改变如下：a）标准名称略有改变；b）增加了设备的分类与型号命名、制冷系统要求、膜厚均匀性、可靠性等。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：都南光实业股份有限公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：贺学红、陆裕芳、武又文、赵雨生。 中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11185 -- 1998蒸发镀膜设备通用规范代替 SJ 1224-77General specification for vapourcoating equipment1 范围本标准规定了蒸发镀膜设备(以下简称“设备”)的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3×10-3Pa～5×10-6Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB 191---90包装储运图示标志GB 2681—81电工成套装置中的导线颜色电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色GB 2682—81GB 3797—83电控设备第二部分装有电子器件的电控设备GB 5080.7--86设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间验证试验方案运输包装收发货标志GB 6388---86GB/T 13384—92机电产品包装通用技术条件SJ/T 37—1996电子工业专用设备型号编制及命名方法SI 1276—77金属镀层和化学处理层质量检验技术要求电子工业管路的基本识别色和识别符号SJ 1635--1996涂料涂覆通用技术条件SJ 2573--85SJ/T11131一1997 蒸发镀膜设备基本参数系列SJ 20385-—93军用电子设备电气装配技术要求3 分类与命名3.1设备分类3.1.1按设备的工作压强可分为：中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准1998-05-01实施1 SJ/T 11185 -- 1998a）高真空蒸发镀膜设备；b)i超高真空蒸发镀膜设备。按设备成膜的用途可分为：3.1.2.3半导体、集成电路用蒸发镀膜设备；a)b)磁带、光盘用蒸发镀膜设备；装饰膜、包装膜用蒸发镀膜设备。c)按设备的结构特点可分为：3.1.3a)钟罩式蒸发镀膜设备；b)箱式蒸发镀膜设备；c)卷绕式蒸发镀膜设备。3.1.4按蒸发加热的方式可分为：a)电阻加热式蒸发镀膜设备；b)电子束加热式蒸发镀膜设备；电阻和电子束加热式蒸发镀膜设备；c)d)感应加热式蒸发镀膜设备；e)激光加热式蒸发镀膜设备。3.1.5按设备自动化程度可分为：半自动蒸发镀膜设备；a)b)）手动蒸发镀膜设备。3.2设备型号命名设备的型号应按SJ/T37的规定编制,其具体含义如下：70.0-1M .60A改进代号设计顺序号主参数品种代号型式代号-类别代号设备名称为700箱式蒸发镀膜设备。4 要求4.1工作条件在下列条件下,设备应能正常工作：a）环境温度:25℃±5℃；b）相对湿度:不大于 90%;c）冷却水:进水温度不高于25,冷却水采用城市自来水或质量相当的水；供电电源：三相380V±38V或单相220V±22V；d)频率 50Hz±1Hz;e）设备工作所需的压缩空气、氮气、氩气等的耗量、压力，在产品标准中规定。2 SJ/T 11185 - 19984.2一般要求4.2.1设备应按规定程序批准的图样及技术文件制造,并应符合本标的要求。4.2.2设备的电气装配应符合 SJ20385的规定。4.2.3设备电气安装时使用的导线颜色应符合GB2681的规定。4.2.4设备使用的按钮、指示灯的额色应符合GB2682的规定。4.2.5设备配用的外购件，都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质量合格证。4.3外观要求4.3.1开关、仪表及铭牌等面板上的零部件应布置合理、方便操作。4.3.2油漆涂覆的零部件的涂层应符合 SJ 2573的要求。4.3.3电镀及化学涂覆的零部件表面应光滑细致、无斑点、锈蚀、起泡、脱层、烧结等缺陷。其质量应符合 SJ 1276 的规定。4.3.4各种管道的涂色应符合SJ1635的规定。4.4安全要求4.4.1设备应设有水流报警装置。