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3.4.2 压电材料 3.压电半导体材料 具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。 第二十九页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.3 测量电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个静电发生器，如图(a)。也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的电容器，如图(b)。 ＋＋＋＋ ―――― Q Q 电极 压电晶体 Ca (b) (a) 压电传感器的等效电路 其电容量为： 第三十页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.3 测量电路 因此，压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路，如图(a)；也可等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的并联电路，如图(b)。 Ua Q 第三十一页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.3 测量电路 压电传感器是一种具有高内阻而输出信号又很弱的有源传感器。在进行非电量测量时，为了提高灵敏度和测量精度，一般采取多片压电材料组成一个压电敏感元件，并接入高输入阻抗的前置放大器。 第三十二页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.3 测量电路 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri , 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如图所示。 压电传感器的实际等效电路 （a） 电压源; （b） 电荷源 Q 第三十三页，共四十七页，2022年，8月28日 第一页，共四十七页，2022年，8月28日 真空蒸镀 在真空室内，将待蒸发的材料置于钨丝制成的加热器上加热，当真空度抽到0.0133Pa以上时，加大钨丝的加热电流，使材料融化，继续加大电流使材料蒸发，在基底上凝聚成膜。 1—真空室 2—基底 3—钨丝 4—接高真空泵。 3.3 薄膜应变片 第二页，共四十七页，2022年，8月28日 溅射 在低真空室中，将待溅射物制成靶置于阴极，用高压（通常在1000V以上）使气体电离形成等离子体，等离子中的正离子以高能量轰击靶面，使待溅射物的原子离开靶面，淀积到阳极工作台上的基片上，形成薄膜。 1—靶 2—阴极 3—直流高压 4—阳极 5—基片 6—惰性气体入口 7—接真空系统。 3.3 薄膜应变片 第三页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4 压电式压力传感器 压电式传感器是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。 压电传感元件是力敏感元件，所以它能将测量量最终变换为力的一些物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。 第四页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.1 压电效应 正压电效应：某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 逆压电效应（电致伸缩效应）：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 第五页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.1 压电效应 在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 压电传感器中的压电元件材料一般有三类： 压电晶体（如石英晶体）； 经过极化处理的压电陶瓷； 高分子压电材料或压电半导体。 第六页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.1 压电效应 一、石英晶体的压电效应 石英晶体是最常用的压电晶体之一，它理想的几何形状为正六面体晶柱。 在晶体学中可用三根互相垂直的晶轴表示，其中纵向轴Z称为光轴；经过正六面体棱线且垂直于光轴的x轴称为电轴；与x轴和z轴同时垂直的y轴称为机械轴。 第七页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.1 压电效应 石英晶体的三个晶轴 光轴（基准轴，Z轴）：光沿该方向通过没有双折射现象，该方向没有压电效应，光学方法确定。 机械轴（Y轴）：垂直xz面，在电场作用下，该轴方向的机械变形最明显。(横向压电效应) 电轴（X轴）：经过晶体棱线，垂直于该轴的表面上压电效应最强。（纵向压电效应） 第八页，共四十七页，2022年，8月28日 3.4.1 压电效应 在X轴方向施加压力时，石英晶体的X轴 正向带正电；如果作