激光薄膜损伤阈值的检测.docVIP

几种光学薄膜激光损伤阈值测量措施的简介与探讨 1.序言 光学薄膜目前已经成为各个光学元器件不可或缺的部分，伴随高功率激光器件的发展，由于光学薄膜相对于其他光学元件一般具有比较低的激光损伤阈值，因而光学薄膜成为了高功率器件限制功率提高的瓶颈所在，因此提高薄膜的激光损伤阈值显得极为重要。然而要想提高薄膜的激光损伤阈值，精确的测量薄膜的激光损伤阈值成为了目前亟需处理的难题。本文系统的总结了1-on-1、S-on-1、R-on-1和光栅扫描四种测试方式，以及normaski相称显微镜观测、等离子体闪光鉴别等几种判断薄膜损伤措施的原理。可为薄膜激光损伤阈值的测试提供参照与借鉴。 几种损伤阈值测量措施的简介 目前主流的测量方式有1-on-1、S-on-1、R-on-1和光栅扫描四种方式。其测试设备均如图一所示，只是在激光辐照到样品表面时而采用不一样的方式。 图一 激光损伤阈值测量光路 激光器发出强激光用来作为损伤光，玻片与偏振片共同构成衰减器，He-Ne激光器所发出的光作为准直光使用，聚焦透镜使得光斑聚焦到合适的大小，分光镜将光分为三束，其中一束通向样品，一束通向能量计以时时监测能量值，此外一束通向CCD以确定光斑大小。 2.1 1-on-1测量措施 采用不一样能量密度的激光依次对样品上一排点进行辐照，每个点辐照一次，为了保证各个点之间不互相影响，应使得两个点之间的距离为样品表面处理光斑直径的3倍以上（如图二），辐照完后计算出该功率下的损伤几率，然后用相似的措施进行下一种功率的辐照。得出各个功率密度分别对应的损伤几率（必须包括0损伤几率与100%损伤几率）后，运用最小二乘法原理，对数据进行线性拟合，进而得到损伤阈值。 图二 样品的测试点分布 该种措施应用较为普遍，它得到的损伤阈值也较为精确，不过该措施测量面积较大，且不能得到阈值分布，对于重频激光来说必须考虑激光辐照的累积效应，该测试措施也不能满足。 2.2 S-on-1测量措施 采用不一样能量密度的激光对样品上的一排点进行辐照，每个点辐照S（可认为1,10,100,1000等）次（若不到S次就发生损伤则应立即移动至下一种测试点），为保证各个点之间不互相影响，应使得两个点间的距离为样品表面处光斑直径的3倍以上，辐照完后计算出该功率下的损伤几率，然后用相似的措施进行下一种功率的辐照。然后同1-on-1措施拟合出功率密度与损伤几率的关系，进而得到损伤阈值。 该措施相对来说愈加符合平常实际状况，因此也是一种比较常用的测量措施。同1-on-1法，该措施也无法得到阈值的分布状况。 2.3 R-on-1测量措施 测量过程中通过变化衰减器，从而使得激光能量按梯度增长，将激光打到样品的测试点上，发生损伤后就移至下一种点（两点之间的距离一般也为样品上光斑直径的3倍），记录下发生损伤时激光能量的密度F与前一种为发生损伤时的激光能量密度F。分别求出各个点的F与F的平均值，即为该点的损伤阈值，再将所有测试点的损伤阈值求平均，即可认为是该样品的损伤阈值。 该措施可以得到较多的数据，可以分析整个光学原件的均匀性，不过由于激光预处理效应而使得激光损伤阈值有所增长。 2.4 光栅扫描法 在样品上选用一定的区域进行多种能量梯度的光栅式多脉冲扫描，扫描间距一般也为样品上光斑直径的3倍左右。每个能量梯度扫描一次，若未出现损伤则进行下一梯度的扫描，若出现了损伤则记录下此时激光能量密度F与前一种未损伤时的激光能量密度F。阈值确实定于R-on-1相似。 该措施由于需要测量的面积较大，所需时间较长，且由于存在激光预处理效应，从而会使得激光损伤的阈值也有所增长。 2.5 多种措施的比较 图三为不一样光斑下多种测量措施下的1-on-1，S-on-1与R-on-1的损伤阈值曲线图，表一为损伤阈值的测量成果。 图三 两种光斑尺寸下，1-on-1、S-on-1与R-on-1的损伤几率图 表一 四种方式损伤阈值测量成果 以上数据得R-on-1光栅扫描1-on-1S-on-1。理论分析如下：由于存在激光预处理效应，R-on-1与光栅扫描法得到的损伤阈值会比S-on-1与1-on-1得到的阈值大。由于光栅扫描法扫描的范围比较大，因此其更轻易辐照到缺陷等阈值极低点，从而使得其损伤阈值相对R-on-1更小。而在S-on-1中存在光热积累效应，因此多脉冲往往更轻易导致损伤，因此S-on-1又比1-on-1大。可见，理论与试验符合的很好。 3 几种判断样品损伤的探测措施 国际原则（ISO 11254）对损伤的定义为用规定的检查技术可以观测到样品表面特性的任何激光诱导的变化。本节重要简介了几种常见的判断薄膜损伤与否的探测措施，重要包括相称显微镜观测法、图像处理法、等离子体闪光法、反射光能量鉴别法、光斑形变法、透射反射扫描法、散射光鉴别