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涡旋式微型压缩机的优化设计 1 空气微型压缩机的应用 近年来，由于纳米微观加工技术的发展，小型车辆的研究和开发变得容易。随之微型泵等流体机械的研究开发日益兴盛, 日趋实用化。另一方面, 对于实现微型空气压缩系统与微型制冷机必不可少的实用性微型压缩机至今尚未实现。 有关微型压缩机的研究还不多, Fujiwara先生开发出了具有独立的阀装置, 活塞直径1mm的往复式微型压缩机排气压力达到100kPa (gauge) 。还有, Ooi提出了将压电调节器用于活塞驱动的可以实现微型化的往复式压缩机。可以说往复式压缩机与其他类型相比泄漏面积小, 是适合微型压缩机的类型。但是, 往复式压缩机在结构上必须要有阀装置, 还有, 间隙容积直接影响到性能, 所以, 微型化越是深入实现越是困难。 因此, 在本研究中, 考虑到空气微型调节器的驱动源, 关注在结构上不再需要阀装置, 很难受到间隙容积影响的涡旋式压缩结构, 以开发涡旋部直径1～3mm, 吸气容积在0.5mm3以下的涡旋式微型空气压缩机为目的。在本报告中, 首先通过理论分析进行微型压缩机的性能预测, 特别是对于微型压缩机的性能, 作为最重要因素的内部间隙所导致的泄漏, 通过考虑到稀薄气体效应的泄漏模型进行计算。另外, 对驱动涡旋式微型压缩机的装置也进行了研究。 2 理论分析 2.1 不同流体的分类 如果流动场的代表尺寸接近气体分子的平均自由行程, 流体不能再作为通常的流体力学的连续流来使用, 必须将流体作为稀薄气体流来使用。表示其稀薄气体程度的无因次数是取气体分子的平均自由行程和流体代表尺寸之比的克努森数 (Knudsen number) , 如式 (1) 所示。流体根据这个值, 可以像表1那样进行分类。 式中, K是气体的热容比, M是马赫数, Re是雷诺数。 稀薄气体效应开始显现的K n=0.01～0.1的范围, 作为连续流的假设是成立的, 但是, 是必须考虑固体壁面滑差率的领域, 被称为“滑动流”。Kn=10以上的范围, 气体分子间的相互作用没有问题, 是通过对固体壁面的冲突作用被控制的领域, 被称为“自由分子流”。Kn=0.1～10的范围, 是滑动流和自由分子流的中间领域, 被称为“过渡流”, 是分子间的冲突频率、分子和固体壁面上的冲突频率达到相同程度的流体。空气时的代表长度和克努森数的关系、把压力作为参数如图1所示。根据图可以知道, 压力在大气压以上, 代表尺寸在1μm以上, 克努森数在0.1～0.001的范围, 流体是滑动流或者是连续流。 2.2 管摩擦系数和滑动流 对于微型压缩机来说, 内部间隙中泄漏损耗的影响最为重要, 而且是非常大的问题。本研究用截面积固定的流路中有摩擦的绝热流体的法诺流体模型计算内部泄漏流量。如图2所示。 分析模型流路由压力Pup、温度Tup的上流侧空间、没有摩擦的尖细喷嘴、微小间隙δ的截面积固定的直线摩擦流路 (长度lf) 、压力Pdn的下流侧空间构成。用于分析连续流时法诺流的管摩擦系数使用针对二维槽的下式。 在式 (2) 中, ρ是密度[kg/m3], u是流速[m/s], δ是间隙[m], μ是粘度[Pa·s]。对于雷诺数的代表长度用水力直径2δ, 由于间隙非常小, Re=2000以下, 泄漏流形成层流。 另一方面, 间隙在几μm左右时, 根据图1, 泄漏流不作为连续流, 必须作为稀薄气体流使用。在滑动流的范围, 气体可以看作近似连续流, 但是, 在壁面上具有有限的速度。这种壁面上的速度在下式中, 可以用一次滑动边界条件 (The first-order slip boundary condition)表示。 式中, δ是接线方向运动量转换系数 (tangential momentum accommodation coefficient) , 这个值因工作流体、壁面材质或者面的加工而有所不同, 但是, 大致取0.8～1.0的值。在本研究中, 因为简单, 所以δ=1。如果用式 (3) 的一次滑动边界条件, 在达尔西·惠斯巴哈公式中, 管摩擦系数可以如下式表示。 式中, 对于克努森数的代表长度使用与雷诺数相同的水力直径2δ。通过由以上求得的相对于滑动流的管摩擦系数应用于法诺流, 计算滑动流领域的泄漏流。 2.3 转速60hs时的压力 在本研究中, 作为微型压缩机的性能, 把关闭排气管时排气腔中的最高压力定义为作用压力, 根据这个值评价性能。作为计算例, 相对于轴回转角, 搭接间距w=300μm, 齿厚b=150μm, 齿高h=300μm, 间隙=1μm, 转速60Hz时的压缩腔内的压力变化如图3所示。图中θ=810°～1170°的范围相当于本来的排气过程, 但是, 由于排气管被关闭不再进行排气过程, 所以, 即便是在排气腔内也持续压缩工作在θ=1000