一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法.pdfVIP

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2023-08-09 发布于四川
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一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法.pdf

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本发明公开了一种薄膜式压力传感器校准装置及校准方法，该校准装置包括支撑组件、调平组件以及调压组件；支撑组件包括基座以及竖直设置于基座上的立柱；调平组件包括与立柱转动连接的平衡杆以及穿设于平衡杆上且可沿平衡杆来回移动的平衡块；调压组件包括竖直设置且与平衡杆转动连接的顶针、设置于顶针顶部的托盘、放置于托盘上的调压件以及用于夹压待校准薄膜式压力传感器的垫片，顶针和平衡块分别位于立柱的两侧。利用前述校准装置对薄膜式压力传感器进行压力响应校准。该校准装置及校准方法可用于实现各类薄膜式压力传感器的压力响应校

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113532733 A (43)申请公布日 2021.10.22 (21)申请号 202111000131.6 (22)申请日 2021.08.27 (71)申请人四川大学地址 61