改变溅射功率柔性聚酰亚胺衬底的ZnO透明导电材料的研发制备.docVIP

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2023-08-13 发布于湖南
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改变溅射功率柔性聚酰亚胺衬底的ZnO透明导电材料的研发制备 - PAGE 14 - - PAGE 5 - 改变溅射功率柔性聚酰亚胺衬底的ZnO透明导电材料的研发设备 Research and development equipment of ZnO transparent conductive material with flexible polyimide substrate capable of chan sputtering pow 摘要在聚酰亚胺(PI)柔性衬底上通过直流磁控溅射法在生产ZnO薄膜，在将ZnO薄膜举行光电性能表征的情况下。成果表现为影响柔性聚酰亚胺衬底