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柔性铰接件加工误差分析 0 柔性新型真系统误差源 柔性链利用了金属的小弹性变形和恢复特性，是一种微定位的高分辨率传输系统。由于是一体化加工成型, 所以具有无机械摩擦、无配合空程、无需润滑、运动灵敏度高等特点［１］, 广泛应用于各类微调装置、精密定位平台、光刻技术和扫描探测显微镜等［2-5]［６］1172-1179。 对柔性铰链工作性能产生影响的因素是多方面的, 设计柔性铰链时会有一些前提假设, 如假设仅在铰链处产生弹性变形, 其余部分视作刚体;在工作时假设只产生转角变形, 无伸缩和其他变形。而铰链本身存在一些固有缺陷, 比如转动中心不固定、应力集中、应力大小随关节位置变化、环境对材料的影响等［６］１１７２－１１７９。在结构设计中往往是几个铰链和连杆之间相互组合, 组合之间的加工误差都会带来转角和直线的耦合位移, 这些都会导致其运动偏离理想轨迹。文献和文献４０９１－４０９６综合性的对柔性铰链机构误差源进行分析, 对材料性能、尺寸设计、振动干扰、加工误差等方面进行探讨。文献给出了单平行四边形位移结构的旋转耦合公式。文献用多变量泰勒级数把理想刚度公式展开, 定性的分析每个变量误差对柔性铰链的敏感性。文献和文献用有限元方法对位移机构进行仿真, 得到柔性铰链制造误差引起的机构位移耦合, 但是都只针对一种机构, 所得结果有局限性。 本文中我们针对直圆柔性铰链形成的梁构件, 分析直圆柔性铰链的