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本实用新型提供一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮,包括设于第一端板与第二端板之间的多对相互平行的支撑杆,其中,多对相互平行的支撑杆沿着第一端板的一侧至另一侧依次设置,且支撑杆相对于第一端板和第二端板可相对移动;以及每一对支撑杆的相对侧面上均设有若干个支撑齿,若干个支撑齿一一对应,便于硅片插片;支撑齿具有一定长度,相邻支撑齿形成硅片插槽,便于硅片插片;支撑齿具有支撑部,支撑部与硅片接触为点接触,减少硅片变形。本实用新型的有益效果是具有支撑部,支撑部具有一定的弧度,与硅片的接触为点接触
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210142640 U
(45)授权公告日
2020.03.13
(21)申请号 20192
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