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纳米计量技术的发展与现状 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 主要内容 引言 纳米计量与量值溯源 纳米计量的发展 纳米测量方法特点及分类 纳米计量技术的发展前景 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 1990年，美国IBM公司的艾格勒博士，用扫描隧道显微镜首次实现了单原子操作，用35个氙原子在镍晶体的晶面上组成了“IBM”图案使费曼的语言变成了现实。1990年7月在美国巴尔的摩召开了首届国际纳米科技技术会议，这次会议标志着材料科学发展到一个新的层次——纳米材料问世，也标志也纳米科学技术的正式诞生。 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 纳米做为长度单位， 1nm=10-9m，纳米尺度主要是指 0.1~100nm。基于这个尺度空间所建立的纳米技术一直被众人认为是新世纪最重要的科学技术之一。 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 根据美国国家标准与技术研究院（NIST)的定义：纳米计量学是测量纳米级或更小物体尺寸或确定性的科学。纳米校准技术是为具有纳米精细度的仪器装置和实物标准提供校准的技术，并为量值上为这些仪器以纳米级不确定水平溯源到米定义提供技术手段。 国际计量委员会长度咨询委员会(CIPM/CCL)的纳米工作组对纳米几何量计量定义为“纳米几何量计量是对范围 1-1000nm 的物体特征、间距和位移进行测量的科学与实践”。 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 纳米几何计量仪器应具有这样的特性: （1）具有溯源性； （2）由计量系统构成的参考坐标系； （3）可复现的相对于参考坐标系的计量和测量活动； （4）通过探测系统将被测物与参考坐标系联系起来。 这表明纳米计量仪器可以分为三个部分: （1）位移系统；（2）计量系统；（3）探测系统。 2007 年国家质检总局通过了以高思田教授的计量型原子力显微镜为主申报建立纳米几何量计量国家标准的请求，该系统成为第一套专门用于纳米几何量计量的国家标准。申报书中所提及的纳米尺度溯源体系，最高长度基准是以 633nm的氦氖激光波长为参考的国际米定义。 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 到目前为止，全世界计量工作者对纳米计量的研究主要集中在以下三个方面： 计量型扫描探针显微术（MSPM）的研制 五大标准的国际比对 纳米尺度传递、尺度标准的选择和制备 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 硅单晶原子纳米扫描隧道显微镜影像 纳米测量技术与传统的测量技术相比，具有如下特点： 纳米测量必须提供纳米级甚至亚纳米级测量精度，为此纳米测量涉及并利用了多种学科，特别是物理学中的某些基本理论和基本现象，以非接触测量手段为主。如光干涉原理、隧道效应及晶体衍射理论等等。 纳米测量必须保证在纳米尺度上有相对稳定的复现性，所以它的测量方法与传统测量方法既有相似性又有自己的独特性。 由于纳米测量实现度量的精度、高难度大，所以纳米测量仪器的造价及维护费用普遍很高。 实现纳米测量往往对环境要求很高，需要严格控制环境湿度、温度及振动等因素。 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状 目前国内外发展的纳米测量方法主要分两大类： 一类是以扫描探针显微术（SPM）为代表的非光学测量方法，如SPM、电容测微法、电感测微法等。 另一类是以各种激光干涉仪为代表的光学测量方法，其中包括X射线干涉仪、双频激光干涉仪、激光偏振干涉仪、光栅干涉测量、F-P干涉仪等。 分辨率/nm 精度/nm 测量范围/nm 测量速度(nm/s） 光学外差干涉仪 0.1 0.1 5×107 2.5×103 X射线干涉仪 5×10-3 10-2 2×105 3×10-3 光栅测量技术 1.0 5.0 5×107 106 激光频率分裂法 79 - 107 106 F-P干涉仪 10-3 10-3 5 5～10 电感传感器 0.25 5.0 104 104 电容传感器 10-3 5.0 25 104 扫描探针显微镜 10-3 0.05 103～104 10 投射电子显微镜 0.1 0.14 107 10 纳米计量 纳米计量技术的发展与现状