扫描电镜的图像分析演示文稿.pptVIP

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超导材料(西北有色金属研究院) 样品 211晶体 123晶体 ISIS测 At% 标称比值At ISIS测At% 标称比值At O 54.88 52.68 Cu 11.05 1 23.00 3 Y 22.70 2 8.24 1 Ba 11.37 1 16.09 2 该超导材料分析结果中,Cu、Y、Ba的分析比例与标称比值完全一样。 镍-钛合金 元素 GENESIS测量 wt% 标定值 wt% 相对误差 % Ni 56.27 55.95 0.57 Ti 43.73 44.05 0.73 此合金分析结果表明,能谱仪对合金分析的准确度很高。 当前第30页\共有47页\编于星期一\0点 铁钴合金成分分析结果 公司或仪器名称 测定单位及日期 Si Fe Co Ca Nb Nd Dy   北京科技大学材料               League 学院 1.38 74.55 9.25 1.67 0.6 10.41 2.13   2003年10月                 西安文保中心 1.54 70.53 9.29 / 1.87 14.96 1.89 EDAX 2002年8月                 北京中科院物理所 / 72.28 8.32 / 1.39 12.04 5.97   2003年10月               OXFORD 213所 / 73.72 9.07 / 2.49 14.72 /   (2002年8月)               名义值(化学法) 西北有色金属研究院 / 70.25 7.5 / 1.25 11.5 2 此分析结果表明,各厂家能谱仪分析结果的差异较大。 当前第31页\共有47页\编于星期一\0点 (2)粉体:氮化硼、荧光粉钴蓝、氧化物、盐类的EDS测定结果: 曾使用OXFORD公司ISIS-200型EDS分析一个未知物白色粉末,得到如下结果: 粉末未知物 谱标记 xx-sp1(90X) xx-sp2(90x) 元素 重量% 原子% 重量% 原子% O 47.60 60.50 47.04 59.96 Al 52.40 39.50 52.96 40.04 Total 100.00 100.00 100.00 100.00 从上表看出,Al与O的原子数比为2∶3,与Al2O3分子中Al与O的原子比完全一样。根据形貌照片 的分析,照片上的颗粒形貌与Al2O3的也非常相似。从而,断定该未知物就是Al2O3。 当前第32页\共有47页\编于星期一\0点 氮化硼(BN)粉末样品成分分析结果 原子% 公司名称 测定单位及日期 硼(B)% 氮(N)% 备 注   2002年8月 51.13 48.87 理论值(N:B=50:50) NORAN 中科院物理所国家纳米中心 50.66 49.34     2003年10月         西安航空618所 43.75 56.25     2002年8月       OXFORD 西北有色金属研究院 47.84 52.2 分别使用20KV、10KV   2003年10月 48.65 51.35 加速电压测定,硼B峰低   EDAX     西安文保中心 54.75 45.25   2002年8月       北京中科院物理所 2003年10月 50.04 49.96 该数值为修正后结果, 没有意义 当前第33页\共有47页\编于星期一\0点 扫描电镜的图像分析演示文稿 当前第1页\共有47页\编于星期一\0点 优选扫描电镜的图像分析Ppt 当前第2页\共有47页\编于星期一\0点 1 分辨率和放大倍数 当前第3页\共有47页\编于星期一\0点 扫描电镜分辨率定义为能够清楚地分辨试样上最小细节的能力,通常以清楚地分辨二次电子图象上两点或两个细节之间的最小距离表示,如上图示。 分辨能力是SEM最重要的性能指标,目前,钨灯丝SEM二次电子像的分辨率为3nm~6nm,但是,这不是日常工作能实现的,只是验收指标,它与观察条件、图象的亮度、对比度、信噪比有关。 钨灯丝SEM在日常工作条件下,用普通试样照相,能作到6nm分辨率就相当不易了。在此分辨率下,可以在5万倍以上拍出清晰照片。通常情况下,用3万倍对普通样品照相(如陶瓷、矿物),能给出清晰二次电子照片,就属高水平。 当前第4页\共有47页\编于星期一\0点 扫描电镜图像放大倍数定义为显示器上图像宽度与电子束在试样上相应方向扫描宽度之比。例如显示器上图像宽度为100mm,入射电子束在试样上扫描宽度为10μm, 则放大倍数M为:

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