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一种用于晶圆储存搬运的机械臂装置.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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一种用于晶圆储存搬运的机械臂装置.pdf

    本发明涉及晶圆储存搬运技术领域，提供了一种用于晶圆储存搬运的机械臂装置，包括：机械臂结构、内部线缆结构；所述机械臂结构包括底座机构和若干关节臂，所述底座机构与若干所述关节臂依次首尾连接，任意一个所述关节臂被配置为在一个固定的水平面上360度旋转；所述内部线缆结构一体化封闭内嵌于所述机械臂结构内部。上述技术方案，占用空间小，取货灵活，单臂可实现360度旋转，可以实现晶圆盒的左右库位切换，重复精度高。且采用一体化封闭内嵌式进行机械臂的走线，内部走线不会出现拉扯，也不会出现和外部运动部件干涉，同时也不

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116620859 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310419380.1 (22)申请日 2023.04.19 (71)申请人 尊芯智能科技（苏州）有限公司 地址

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