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- 2023-08-23 发布于四川
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本申请提供物理量传感器以及惯性测量装置，减少随着由弹性导致的不必要振动而产生的不良情况。物理量传感器(1)包括固定于基板(2)的固定部(40)、支承梁(42、43)、固定电极部(10)、可动体(MB)及阻尼部(D)。固定电极部(10)设置于基板(2)。支承梁(42、43)的一端与固定部(40)连接。可动体(MB)具有可动电极部(20)和框架部(30)。可动电极部(20)具有与固定电极部(10)的固定电极(11、12)对置的可动电极(21、22)。框架部(30)连结可动电极部(20)和支承梁(42
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116626337 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310132913.8
(22)申请日 2023.02.17
(30)优先权数据
2022-024692 202
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