材料现代分析技术 课件 化工 第7章 高分辨.pptxVIP

高分辨原理;课程内容;基本概念;环节1）电子波与试样的相互作用，在试样的下表面形成透射波，又称物面波；其数学表达为试样透射函数 环节2）透射波经物镜成像，经多级放大后显示在荧光屏上，其数学表达为试样物面波函数 该过程又分为两步：从透射波函数到物镜后焦面上的衍射斑点（衍射波函数）再从衍射斑点到像平面上成像，这两过程为傅里叶的正变换与逆变换。该过程的数学表达为衬度传递函数;成像束：HRTEM为多电子束成像，而TEM则为单电子束。 结构要求：HRTEM对极靴、光阑要求高于TEM。 成像：HRTEM仅有成像分析（晶体与非晶均可成像），包括一维、二维的晶格像和结构像，而TEM除了成像分析还可衍射分析。 试样要求：HRTEM试样厚度一般小于10nm，可视为弱相位体，即电子束通过试样时振幅几乎无变化，只发生相位改变，而TEM试样厚度通常为20~200nm。 像衬度：HRTEM像衬度主要为相位衬度，而TEM则主要是振幅衬度。;一、试样透射函数的近似表达式（物面波函数）;理想透镜，相位体的像不能产生任何衬度。实际上由于物镜存在球差、色差、像散 （离焦）以及物镜光阑、输入光源的非相干性等因素，此时可产生附加相位，从而形成像衬度，看到晶格条纹像。有意识地引入一个合适的欠焦量，即让像不在准确的聚焦位置，可使高分辨像的质量更好。这些因素的集合体即为相位传递函数。;二 、衬度传递函数;2）球差;三. 像平面上