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- 2023-08-26 发布于四川
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本申请公开了一种薄膜电光调制器，所述薄膜电光调制器包括衬底层(1)、压电薄膜层(3)和格栅电极层(4)，其中，所述压电薄膜层(3)的一侧形成脊型波导(6)，并且，所述脊型波导(6)与所述格栅电极层(4)分居所述压电薄膜层(3)的两侧，从而能够在所述压电薄膜层(3)上进行二次刻蚀，使得所述脊型波导(6)对光波具有更强的束缚能力，从而减少信号损耗。本申请还提供一种制备所述薄膜电光调制器的方法，所述方法基于价格低廉的无衬底的压电晶圆进行制备，使用主要成分为二氧化硅的釉料作为粘结剂连接压电薄膜层(3)与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113641011 A
(43)申请公布日 2021.11.12
(21)申请号 202110961560.3
(22)申请日 2021.08.20
(71)申请人 南京
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