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感光化合物、感光组合物、与图案化方法.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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感光化合物、感光组合物、与图案化方法.pdf

    本揭露涉及一种感光化合物、包含该感光化合物的感光组合物、以及一种利用该感光组合物的图案化方法。所述图案化方法包括：提供感光组合物于材料层上。所述感光组合物包含：1重量份的感光化合物；1.5至8重量份的树脂；以及10至40重量份的稀释剂。所述感光化合物的结构为：图案化方法更包括移除感光组合物中的稀释剂，以形成光阻层；曝光光阻层；以及以显影剂移除光阻层的曝光部分，以露出部分的材料层。本揭露的感光化合物适用于数码曝光，可使光阻配方调整更具弹性，并具有高分辨率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115215772 A (43)申请公布日 2022.10.21 (21)申请号 202111473406.8 G03F 7/004 (2006.01) (22)申请日 2021.11.

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