纳米微粒具体尺寸的结构表征.pptxVIP

纳米微粒具体尺寸的结构表征;透射电子显微镜扫描电子显微镜;透射电子显微镜(TEM); 1934年Ruska在实验室制作第一部穿透式电子显微镜transmission electron microscope，TEM)，1936 年，第一部商售电子显微镜问世。在1940年代，常用的50 至100 keV 之TEM 其分辨率(resolving power) 约在l0 nm左右，而最佳分辨率则在2至3 nm之间。当时由 於研磨试片的困难及缺乏应用的动机，所以鲜为物理科学研究者使用。直到1949年，Heidenreich制成适於TEM观察的铝及铝合金薄膜，观察到因厚度及晶体力面不同所引起的像对比效应，并成功的利用电子衍射理论加以解释。同时也获得一些与材料性质有关的重要结果，才使材料界人士对TEM看法改变。但因为一般试 片研制不易，发展趋缓。一直到1950年代中期，由於成功地以 TEM观察到不锈钢中的位错及铝合金中的小G.P.区(G.P. zone)，再加上各种研究方法的改进，如： (l) 试片的研磨。(2) TEM一般的分辨率由2.5 nm增进到数埃。(3) 双聚光镜的应用可获得漫射程度小、强度高、直径在微米(μm)左右的电子束，增进TEM微区域观 察的效力。(4) 晶体中缺陷电子衍射成像对比理论的发展。(5)试样在TEM中的处理，如倾斜、旋转装置之渐臻实用等。TEM学因 此才一日千里，为