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- 2023-08-30 发布于江苏
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电子封装工艺设备;封装工艺与设备的关系;半导体封装技术
半导体封装技术发展的5个阶段:;封装技术;IC发展的历程及其封装形式;先进封装技术;探针测试台的分类
用于各种半导体器件芯片的电能参数测试,用手动控制进行器件特性分析和工艺验证分析。
在人工完成第一个芯片对准后,按程序实现晶圆上所有芯片测试功能的测试设备。
主要包括:
1,X-Y向工作台
2,可编程承片台
3,探针卡/探针卡支架
4,打点器、探边器
5,操作手柄
6,与测试仪相连的通信接口
CJ-5型双电测四探针测试仪;晶圆减薄工艺设备;②晶圆自旋转磨削
(wafer rotating grinding);晶圆减薄机关键零部件
⑴承片台
⑵分度工作台
⑶空气静压电主轴
⑷磨轮进给系统
⑸折臂机械手
研磨应力去除技术
化学机械式抛光(CMP)
湿式化学腐蚀(wet etching);晶圆划片工艺设备;芯片互连工艺设备;芯片键合技术;芯片键合设备;芯片键合机;引线键合技术;引线键合设备;引线键合机;载带自动焊技术;载带自动键合工艺设备;芯片封装工艺设备;气密封装工艺;气密封装设备;塑封设备;晶圆级CSP封装(WLCSP)工艺设备;系统级封装(SiP)工艺设备;三维芯片集成工艺设备;三维封装技术;Thank you!
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