一种卡槽式对位标记及防止铟柱滑移的互连方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.21万字
约 11页
2023-08-30 发布于四川
举报
版权申诉

一种卡槽式对位标记及防止铟柱滑移的互连方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种卡槽式对位标记及防止铟柱滑移的互连方法，每组对位标记包括设置在芯片上主标记，以及设置于基板上的辅标记，主标记由中心的点状槽及围绕点状槽的环状槽构成，辅标记大小匹配主标记的外轮廓大小。芯片与电路进行互连时，电路上辅标记处的较大铟柱先接触到芯片上主标记正中央的点状槽，其凹槽的结构对铟柱顶部的球面进行位置的限制。本发明卡槽式对位标记在原有的对位标记区域内进行设计即可，无需增加额外的工序，且具有倒装时的对位以及互连时的芯片固定双重作用。本发明的互连方法，即可适用单面铟的互连，也可用于双面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116666363 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310957727.8 (22)申请日 2023.08.01 (71)申请人无锡兴华衡辉科技有限公司地址