蓝宝石、硅、碳化硅衬底材料比较.pdfVIP

  蓝宝石（Al2O3 ）,硅 (Si),碳化硅（SiC ）LED 衬底 材料的选用比较 通常，GaN 基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石  衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬 底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的 稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝 宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数 工艺一般都以蓝宝石作为衬底。图1 示例了使用蓝宝 石衬底做成的LED 芯片。 [url=/upload/zhishi/200803/2008032