碳化硅单晶衬底及用于制造所述碳化硅单晶衬底的方法.pdfVIP

碳化硅单晶衬底及用于制造所述碳化硅单晶衬底的方法.pdf

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本发明涉及碳化硅单晶衬底及用于制造所述碳化硅单晶衬底的方法。一种碳化硅单晶衬底(1),其包括第一主表面(1a)、第二主表面(1b)和圆周边缘部(3)。第二主表面(1b)与第一主表面(1a)相反。圆周边缘部(3)连接第一主表面(1a)和第二主表面(1b)。当沿着与第一主表面(1a)垂直的方向观察时,圆周边缘部(3)具有:直线形的定向平面部(OF1),具有第一半径(R1)的第一圆弧部(A1),和连接定向平面部(OF1)和第一圆弧部(A1)并具有小于第一半径(R1)的第二半径(R2)的第二圆弧部(A2

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110660840 A (43)申请公布日 2020.01.07 (21)申请号 20191

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