基于自学习非线性PID的音圈电机精密定位系统.pdfVIP

2023 年 3 月 电 工 技 术 学 报 Vol.38 No. 6 第 38 卷第 6 期 TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY Mar. 2023 DOI: 10.19595/ki.1000-6753.tces.221383 基于自学习非线性PID 的音圈电机 精密定位系统 1 1 2 2 2 程苗苗 翟朋辉 张英杰 李 健 冯 凯 （1. 湖南大学电气与信息工程学院 长沙 410082 2. 湖南大学机械与运载工程学院 长沙 410082 ） 摘要 基于音圈电机的精密宏微气浮运动系统，是一种能克服接触摩擦和行程限制的新型精 密定位系统。针对系统中用于精密定位的音圈电机受到内外扰动从而影响系统最终定位精度的问 题，在建立起音圈电机数学模型的基础上，设计了基于反正弦函数的自学习非线性PID 控制器， 利用自学习算法对非线性增益函数的增益系数进行实时调整。完成算法设计与仿真后，在搭建的 系统平台分别进行了微动台短行程定位和宏微动台的长行程定位实验。仿真和实验结果表明，与 传统PID 控制器相比较，自学习非线性PID 控制器的使用有效提高了系统的鲁棒性和定位精度， 系统对位置指令响应迅速无超调，控制精度达到了亚微米级。 关键词：精密宏微气浮运动系统 音圈电机 自学习非线性PID 定位精度 中图分类号：TM359.4 统中微动台的驱动元件，其动子相对于定子处于悬 0 引言 浮状态，不可避免地会受到负载扰动、推力波动以 大规模集成制造技术以及超精密加工技术的发 及振动和噪声等外界干扰因素的影响。因此，为了 展，对操作平台加工定位的精确性、快速性等提出 保障系统的定位精度，必须设计合适的控制器来消 了更高的要求。单级平台由于自身结构的限制往往 除内外扰动，提高音圈电机控制系统的鲁棒性。 无法在保证精密定位的同时实现大行程工作，为了 然而，现有的文献中对音圈电机的精密定位以 克服单级平台的缺陷，宏微复合驱动系统被提出并 及抗干扰控制的研究并不多。文献[9]使用带前置滤 大量研究应用。宏微复合驱动平台一般为宏动台+ 波器的 PID 控制，用以滤除系统的高频振动信号； 微动台的层叠结构，宏动台用来实现大行程运动， 文献 [10]使用一种基于分数延迟滤波器的重复控 微动台用于短行程精密定位[1-3] 。对于一个不存在机 制，来实现定位平台任意周期的精确信号跟踪。但 械连接的宏微复合驱动平台来说，两者只存在电磁 滤波器的引入会造成补偿环节的相位滞后，使补偿 耦合，微动台的控制精度直接决定了系统的定位精 效果受到一定限制。文献[11]使用自适应逆控制和 度[4-5] 。 PID 控制相结合的控制方案来抑制干扰，从而提高 从执行机构的角度来看，传统的压电致动器和 音圈电机控制系统的稳态跟踪精度，但是其主要针 磁致伸缩致动器对微动台小行程难以满足精密定位 对的是低频干扰，而且由于在干扰估计过程中延迟 的要求，而音圈电机具有响应速度快、运动部件质 时间消失，因此不能完全消除干扰。文献[12-13]提 量轻、无力纹波、非接触式进给驱动、易于控制等 出了一种自适应动态滑模模糊小脑神