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扫描电子显微镜在纺织品检测中的应用 1 扫描电子显微镜sem显像试验 随着新织物材料的增多，光学显微镜越来越难以满足纺织检验的需要，扫描电子显微镜为纺织检验打开了一条新的道路。 扫描电子显微镜 (SEM) 是近几十年来发展比较迅速的一种先进的电子光学仪器, 目前最先进的场发射扫描电子显微镜分辨率为1nm, 放大倍数可从低倍至几十万倍。尤其是低真空扫描电子显微镜的问世, 使人们直接观察非导电性、易脱气及一定含水、含油的样品成为可能。扫描电子显微镜的成像原理与光学显微镜不同, 它采用细聚焦高压电子束在材料样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像, 类似于电视摄影的显像方式。 扫描电子显微镜的工作原理是由三极电子枪发射出来的电子束 (一般直径约50μm) , 在加速电压的作用下, 经过3个电磁透镜 (或两个电磁透镜) 汇聚成一个细小到5nm的电子探针, 在末级透镜上部扫描线圈的作用下, 使电子探针在试样表面做光栅状扫描 (光栅线条的数目取决于行扫描和帧扫描速度) 。高能电子与物质相互作用的结果是在试样上产生各种信息如二次电子、背散射电子、俄歇电子和X射线等。这些电子信息经过放大、转换, 变成电压信号, 最后被送到显像管的栅极上用以调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也做光栅状扫描, 这种扫描运动与试样表面电子束的扫描运动严格同步, 这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫