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双频激光干涉仪在超精密测量中的应用 0 双频激光干涉仪测量误差来源分析 随着半主导技术和微电子技术的快速发展，对精细加工技术和零件加工精度的要求也越来越高。定位误差是影响加工精度的主要因素,而高精度的在线测量系统又是降低定位误差的技术关键。传统的非光学测量方法虽然能够实现纳米甚至亚纳米的测量分辨率,但在溯源到米定义时,仍然需要利用激光干涉仪等光学方法进行标定和校正。因此在现代超精密加工设备中,普遍采用纳米级分辨率的双频激光干涉仪进行高精度位移测量。 由于激光干涉测量的分辨率相当高,测量过程中的各种误差都将直接影响最终的测量精度,因此必须从激光干涉仪自身固有的系统误差、安装过程及运动过程中所引起的阿贝与余弦误差、测量环境变化所致的环境误差以及测量系统自身所存在的电路延时、测量数据滞后导致的延时误差等方面分析其误差来源,并进行补偿。本文结合具体项目所使用的双频干涉仪,介绍了双频激光干涉测量原理,并在此基础上从以上各方面对激光干涉测量的各种误差进行了分析,并给出了相应的补偿方法。 1 干涉镜后的测量过程 双频激光干涉仪是一种增量式的测长仪器。它将测量反射器与被测对象固联在一起,通过测量反射镜相对于参考反射器的位移来反映被测长度,其测量原理为多普勒频移效应。现以美国Agilent(前身为HP)公司生产的双频激光干涉仪为例介绍其基本原理。 该公司的双频激光干涉仪采用自制的塞曼双频激光器作为