扫描电镜及能谱培训讲座.pptVIP

扫描电镜室基础培训 1设备的构造和工作原理 2操作流程简介 3安全注意事项 当前第1页\共有35页\编于星期二\7点 设备的构造和原理 设备的结构 工作原理 通过几个名词来理解SEM和EDS工作的原理 如何解读SEM和EDS的检测结果 当前第2页\共有35页\编于星期二\7点 SEM的诞生背景 波粒二象性 电磁波的普遍存在 D=(0.61λ)/N.A. 光路可变 前提 透射电镜 电视机的发展 扫描电镜 当前第3页\共有35页\编于星期二\7点 1923年，法国科学家Louis de Broglie发现，波粒二象性。 1926年，德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中的运动理论。 1932年，结合上述两方面的理论，德国柏林工科大学高压实验室的M.Knoll和E.Ruska研制成功了第1台实验室电子显微镜， 1933年，E.Ruska用电镜获得了金箔和纤维的1万倍的放大像。 1937年，柏林工业大学的Klaus和Mill继承了Ruska的工作，拍出了第1张细菌和胶体的照片，获得了25nm的分辨率。 1939年，E.Ruska在德国的Siemens公同制成了分辨率优于10nm的第1台商品电镜，而荣获1986年诺贝尔物理学奖。 1944年Philip公司设计了150kV的透射电镜，并首次引入中间镜。 1947年法国设计出400kV的高压电镜。60年代初，法国制造出