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本发明提供一种柔性T型微电极阵列及其制备方法,包括柔性支撑层和多个T型电极;多个T型电极形成电极阵列;T型电极的纵向部分定义为T型电极下端,T型电极的横向部分定义为T型电极上端;柔性支撑层上开设有通孔,T型电极下端填充在通孔中,且T型电极下端端面与柔性支撑层表面平齐;T型电极上端位于柔性支撑层表面上。本发明可实现无破坏测试,跨尺度测试,适应复杂表面,接触材料可变,以满足上述测试要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116735669 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310536436.1
(22)申请日 2023.05.12
(71)申请人 西安交通大学
地址 710049
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