净化工程的定义及基本知识.docx

净化工程的概念 空气洁净的概念空气洁净度是指结品环境中空气所含悬浮粒子数量多少的程度。 简述室内污染物的控制方法？（1）控制污染源，减少污染发生量。（2）有效地阻止室外的污染物侵入室内。（3）迅速有效地排除室内已经发生的污染。（4）流速控制。（5）系统的气密性。（6）建筑上的措施。 常见空气污染物种类:1）悬浮在空气中的固态、液态微粒。2）霉菌、致病菌等悬浮在空气中的微生物。3）各种对人体或生产过程有害的气体。 计数浓度是以单位体积空气中含有的微粒个数表示，单位为pc/L。质量浓度是以单位体积空中所含微粒质量表示，单位为mg/L。沉降浓度是以单位时间单位面积自然沉降下来的微粒个数或质量表示。单位为pc/（cm2h）洁净室的三大特点：1）洁净室是空气的洁净度达到一定级别的可供人活动的空间，其功能是能控制微粒和微生物的污染。2）洁净室是一个多功能的综合整体，需要多专业配合一建筑、空调、净化、纯水、纯气等。3）评价洁净室的质量，设计、施工和运行管理都很重要，即洁净室是通过从设计到管理的全过程来体现其质量的。 洁净室按用途分类：1）工业洁净室。2）生物洁净室：一般生物洁净室，生物安全洁净室。按气流流型分类：1）单向流洁净室。2）非单向流洁净室。3）混合流洁净室。4）辐流洁净室。 洁净室中的温湿度控制 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。 气压规定 对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则： 洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。 洁净室中的气流速度规定 这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。 对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求； （1）送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。 （2）吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大十0.2m/s。 对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室），由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低速一风速的可行性。 在我国，《空气洁净技术措施》和（洁净厂房设计规范）都是这样规定的 垂直平行流（层流）洁净室N0.25m/s 水平平行流（层流）洁净室＞0.35m/s 屹诚净化工程的噪声控制 洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是： 烦恼的效应 由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。 对工作效率的影响 这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神，动作准确性，工作速度； 对综合通讯的十扰 这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，不可能 对以上三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。