母盘、转印物及母盘的制造方法.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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母盘、转印物及母盘的制造方法.pdf

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本发明提供一种在外周面上包括凹部或凸部以高精度连续排列的凹凸结构的母盘及该母盘的制造方法。本该母盘包括圆筒或圆柱形状的基材；以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构；所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以固定周期连续排列的结构；所述凹部或凸部在所述基材的轴向上相邻的周之间具有规定的相位差而排列。该母盘的制造方法包括通过多个信号生成电路共用基准时钟，通过各个所述多个信号生成电路生成旋转控制信号和曝光信号的步骤；以及基于所述旋转控制信号使圆筒或圆柱形状的基材以所述基材的中心轴为轴旋转，并且，基于所

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109791873 A (43)申请公布日 2019.05.21 (21)申请号 20178