超光滑玻璃表面粗糙度测量结果研究.pdfVIP

维普资讯 · 20· 测试与校准 2007年第27卷第1期 超光滑玻璃表面粗糙度测量结果研究 贾世奎 ，李成贵 ，熊昌友。，刘春红 ，孙丹 (1．北 京航 空航天 大学 仪器 科 学与 光 电工程 学院 ，北 京 100083； 2．中国一航北 京长城 计 量测试 技 术研 究所 ，北京 100095) 摘 要 ：为 分析 测 量仪器 对 测量结 果 的影 响及 结果 差 异 的工 艺原 因，选 取K9玻璃 材 料分 两步在某 抛 光机 上进行 浮 动抛光 ，用依 据 四种不 同测 量原理 的表 面形貌 测量仪 测量 所加 工 的超 光 滑表 面 ，对 比各仪 器 测量 结果 ，得 出该试 件表 面实 际所达 到 的精度 ；分析各 仪 器测 量原 理 、分 辨力 决定 因素 ，区分造 成 测量误 差 的原 因及 它们各 自对 粗糙度 参 数 的影 响 ，得 到该超精 密加 工条 件下 ，玻璃 工件 表面 粗糙度 测 量仪器 选择 原 则和 注意事 项 。 关 键词 ：超 光滑表 面 ；粗 糙度 ；测 量 ；精度 中图分类号 ：TG84 文献标识码 ：A 文章编号 ：1002—6061(2007)01—0020—03 ResearchonUltraSmoothRoughnessResultofGlass JIA Shi—kui，LICheng—gui，XIONG Chang-you ，LIU Chun-hong ，SUN Dan (1．SchoolofInstrumentScienceandOpto—electronicsEngineering，BeijingUniversityofAeronauticsandAstronautics， Beijing100083。China：2．ChangchengInstituteofMetrology＆Measurement，Beijing100095，China) Abstract：The precision measurem entofultra smooth surfaceroughness ismostimportantpartof the precision manufacture． In order to study how does the topography apparatuses influence on the m easurementresult，the K9 glassmaterialselected is polished in float polishing method．U sing four different principle topography apparatuses，the ultra smooth surface of the workpiece is measured． Comparing to the differentm easurementresults，the practicalprecision ofthe workpiece is got．By analyzing the principle ofdifferent topography apparatuses，decision factor ofthe resolving power， result of the error and the influence on the roughness measurem ent， the roughness m easurement criterion and theprincipleofhow toselectthe topography apparatusaregot． Key words：ultrasmooth su