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科盛单晶站操作工艺规程型号TDR-62D目的：
为正确规范操作单晶炉，确保生产作业正常进行及提高工作效率。
范围：
适用单晶站所用TDR-62D型单晶炉。
依据：
依据直拉法生长单晶硅和TDR-62D型单晶炉性能。
权责单位：
济南科盛电子有限公司单晶站。
五直拉单晶硅作业工艺流程：
作业准备一2.取单晶一3.石墨件取出冷却一4.清扫除尘罐一5.真空泵油检查与更换一 -6.石墨件清扫一7.主副炉室清扫一8.石墨件安装一9.石英蜗装料一10.装炉一 一11.抽空一12.充氩气，升功率，熔料一13.化完料降功率，温度稳定一 一14.测电阻率一15.引晶一16.放肩，转肩一17.等径生长一18.收尾一
一19.停炉降功率一20.检漏
作业准备：
进入单晶车间须穿戴好工作服，工作帽，工作鞋。
开炉前须检查水，电，气确认无异常后方可开炉。
准备好拆装炉所用的所有工具及保护用品。
取单晶：
将单晶2/3升至喉口，充氩气将副室冲开。注意氩气量不要过大，避免气流使晶体摆动碰断籽晶致使晶体掉落造成事故。然后两人合作，由一人使用石棉手套将晶体拖好，另一人剪断籽晶，剪籽晶时小心操作，避免碰坏籽晶，然后小心的拿出晶体放在准备好的晶体支架上。
石墨件冷却：
取出单晶后开启液压泵升起副室，拿出锅底料和坩蜗残渣，再升起主室使石墨件自然冷却后逐个清扫，避免石墨件过热烫伤自己，将取出的石墨件放置到安全位置，避免磕碰造成内伤在高温下破裂。
除尘罐清扫：
打开除尘罐后用毛刷配合吸尘泵将除尘罐内的挥发物仔细清扫干净，最后用酒精毛巾将盖子上的密封圈擦净，并检查密封圈有无损伤，断裂。安装过程中防止脱落，错位出槽。
真空泵油检查与更换：
根据真空泵油规定使用时长，确认关闭主泵阀和真空泵电源，在放油单晶炉泵开关处悬挂检修牌，避免其他人误操作造成安全事故。将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上下腔放油开关，放完油后关闭上下腔放油阀，将废油倒入指定油桶。
打开真空泵注油口，加入新的真空泵油观察油位位置，确定油位在观察窗2/3处时停止加油。
启动真空泵工作5min后观察油位是否处在油位观察窗2/3位置，正常后关闭真空泵将检修牌移去，正常开炉。
石墨件清扫：
准备好清扫工具，依次清扫各类石墨件沟槽及接口处，确认无异物和附着挥发物。挥发物较多的石墨件部位须用研磨布认真打磨后再清扫吸尘，避免高温挥发，引起掉渣。
清扫时要注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，如有要及时更换和清理。
操作时要轻拿轻放防止磕碰造成石墨件损坏。
清理好的石墨件放在事先准备好的木盒中，禁止叠加。
清扫后的生产垃圾放入指定处，保证清扫过的炉台周围不起尘，避免装炉时原料及石英坩蜗被二次污染影响拉晶。
清扫中要检查加热器石墨螺丝是否松动，有无脱落或粘接。如有松动须拧紧，有脱落或粘接须更换，防止加热过程中打火，过流。
在拆炉时不小心引起热场移动或偏移转动，一定要检查重新对中校正取光孔，保证取温准确，热场稳定。
检查隔热盘和电极之间距离间隙是否一致对称，若距离间隙不一致必须调整一致。
检查石墨托杆是否有松动或损伤，若发现松动须拧紧；有损伤须更换，并保证托杆与加热器四周间距一致。
用吸尘器将隔热盘上的挥发物及碳化硅颗粒清理干净，避免和加热器下端粘接造成打火过流，影响生产。
主副室清扫：
用酒精毛巾，无尘纸将主室炉壁上挥发物清理干净，如有沉积过厚的挥发物及污点须打磨处理，避免高温脱落掉入熔硅中。清理副室时要小心操作，以免碰撞籽晶，防止软轴跳槽打弯，并要随时检查软轴与籽晶夹头连接处是否有老化或损坏，若有应及时处理更换防止拉晶过程中单晶和重锤脱落造成事故；清理主炉室炉盖时要注意不要损坏观察窗和控径仪防护玻璃。
石墨件安装：
炉室清扫完毕后，将事先清理好的石墨件依次装入炉内。注意要安装稳当，调节好石墨件与加热器之间的距离，然后合好炉子抽空放置待命。
装料：
将领用的石英坩蜗依照石英坩蜗使用标准，戴好洁净手套在没有污染源房间内检查好，放在泡沫盒内和多晶原料一起轻放在小车上开始装料。
装料要求：①对所要装的多晶硅进行大小均匀搭配。
尽量是多晶硅与石英坩蜗壁点接触防止挂边，搭桥。
多晶料不要装得太高，避免熔硅时滑出坩蜗外造成事故。
装料过程中应仔细检查原料是否符合要求。如表面不干净留有酸印，水痕；含有石墨，石英等污染物应停止使用，及时反馈。
装完料后按要求装入一定量母合金掺杂，每次装入母合金须放同一位置。
装料完成后使用洁净塑料袋封好坩蜗口，避免二次污染。
注意：装料时要轻拿轻放，避免相互磕碰致使石英坩埚损伤造成高温漏硅事故。
装炉：
将装好的多晶硅料用小车慢慢移至炉前，用氩气把炉子冲开。然后两人协作，由一人扶住坩蜗下面泡沫盒，另一人穿戴整齐戴好洁净手套，拖稳石英坩蜗壁口处将坩蜗与原料一并放入石墨三瓣蜗内。操作完后检查是否安装平稳，四周高度是
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