承载生物晶片的晶圆结构及使用此晶圆结构清洗生物晶片的方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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承载生物晶片的晶圆结构及使用此晶圆结构清洗生物晶片的方法.pdf

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一种用于承载生物晶片的晶圆结构，包括第一晶圆、第二晶圆和连接元件。第二晶圆设置在第一晶圆上。连接元件将第二晶圆固定在第一晶圆上。第二晶圆具有至少一个通孔，从第二晶圆的上表面贯穿至第二晶圆的下表面。通孔包括第一孔洞和第二孔洞。第一孔洞具有第一孔径。第二孔洞位于第一孔洞下方且连通第一孔洞，第二孔洞具有第二孔径且第二孔径大于第一孔径。借由将生物晶片置放于晶圆结构中并通过旋转晶圆结构和通入溶液和/或气体达到清洗生物晶片的功效。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116765027 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202210472926.5 (22)申请日 2022.04.29 (30)优先权数据