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本发明提供了一种监测热屏平衡的方法及其系统，其中，监测热屏平衡的方法包括：获取位于热屏底部的定位区域的图像，并基于平衡基准线建立坐标系；利用图像识别算法求得定位区域中的定位标记的坐标值；基于坐标值，判断热屏是否处于平衡位置；若热屏处于平衡位置，则继续获取定位区域的图像；若热屏未处于平衡位置，则调整热屏以使得热屏处于平衡位置。如此配置，通过持续获取热屏底部的图像，并通过求得坐标值的方式判断热屏是否处于平衡位置，进而在热屏未处于平衡位置时，采取相应措施以调整热屏位置，保证了热屏在提拉单晶硅时一直处于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116770434 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310747294.3
(22)申请日 2023.06.21
(71)申请人 上海新昇半导体科
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