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znoZnO薄膜的最新研究进展 1 zno薄膜的应用 zno是一种新型的-它是的同义词。与gan有类似的晶常数和禁带宽度。原料方便，而且zno具有更高的铬合金和更高的扭转能力，其机械耦合性能也非常优秀。此外,ZnO薄膜的外延生长温度较低,有利于降低设备成本,抑制固相外扩散,提高薄膜质量,也易于实施掺杂。ZnO薄膜所具有的这些优异特性,使其在表面声波、太阳能电池等诸多领域得到了广泛的应用;随着ZnO光泵浦紫外受激辐射的获得和p型掺杂的实现,ZnO薄膜作为一种新型的光电材料,在紫外探测器、LEDs、LDs等领域也有着巨大的发展潜力。 1999年10月,在美国召开了首届ZnO专题国际研讨会,会议认为“目前ZnO的研究如同Si、Ge的初期研究”。现在,世界上逐渐掀起了ZnO薄膜研究开发应用的热潮,文章详细介绍了ZnO薄膜在其特性方面的最新研究进展。 2 薄膜afm形貌 ZnO晶体为六方纤锌矿结构,每个锌原子与4个氧原子按四面体排布,如图1所示。晶格常数为a=0.325nm,c=0.521nm,其相应参数如表1所示。但ZnO晶体难以达到完美的化学计量比,天然存在着锌间隙与氧空位,为极性半导体,呈n型。 优质的ZnO薄膜具有c轴择优取向生长,图2为本实验室利用直流反应磁控溅射技术制得的c轴取向ZnO薄膜的二维AFM形貌图,表面由许多近六边形紧密排列而成,其对角线长约150nm。 ZnO晶体室