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孟光MEMS动力学;概要 (Outline);1 微机电系统的基本概况;1.1 MEMS基本概念;1.2 MEMS基本模型;1.3 MEMS历史回顾;1.4 MEMS加工技术;1.5 MEMS研究成果;1.6 MEMS应用现状;1.7 MEMS技术小结;概要 (Outline);2 MEMS动力学问题研究;2.1 微尺度效应(Ⅰ);2.1 微尺度效应(Ⅱ);2.1 微尺度效应(Ⅲ);Deformation Beam without PZT 微涡轮机实验测试系统 First electrostatic micromotor（1988） 4 微旋转机械的实验检测(Ⅰ) 1964年，Nathenson研制出第一个批量生产的MEMS设备 resonant gate transistor 材料改性可提高材料的耐磨性能 MEMS动力学问题研究 Bearing number=50; 热致动器 热传感器 振动、冲击、噪声国家重点实验室 振动、冲击、噪声国家重点实验室 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(Ⅳ) 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(Ⅳ) 振动、冲击、噪声国家重点实验室 振动、冲击、噪声国家重点实验室 径向气体轴承润滑特性分析(Ⅲ) 振动、冲击、噪声国家重点实验室;2.1 微尺度效应(Ⅴ);2.1 微尺度效应(Ⅵ);2.2 多能域耦合效应;2.3 MEMS非线性动力学问题;2.4 动力学建模和模拟分析方法(Ⅰ);2.4 动力学建模和模拟分析方法(Ⅱ);概要 (Outline);3 微转子动力学问题研究;3.1 微旋转机械的研究现状;3.1 微旋转机械的研究现状;3.1 微旋转机械的研究现状;3.1 微旋转机械的研究现状;3.1 微旋转机械的研究现状;3.2 微转子系统动力学问题;3.3 微转子动力学研究现状;A. 微转子动力学建模与分析;B. 微转子系统摩擦磨损问题研究(Ⅰ);B. 微转子系统摩擦磨损问题研究(Ⅱ);;C. 微轴承动力润滑问题研究(Ⅱ);C. 微轴承动力润滑问题研究(Ⅲ);3.4 微旋转机械的实验检测(Ⅰ);MEMS将会带动一个充满活力的产业迅速成长 振动、冲击、噪声国家重点实验室 材料特性：弹性模量、密度、断裂强度、残余应力、电阻率、固有阻尼等 7 电磁薄膜微电机振动测试实验分析(Ⅳ) 采用光滑环状转子、支撑结构 多能域耦合非线性动力特性研究 5 MEMS动力学研究展望(Ⅰ) 振动、冲击、噪声国家重点实验室 振动、冲击、噪声国家重点实验室 振动、冲击、噪声国家重点实验室 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(Ⅲ) 振动、冲击、噪声国家重点实验室;3.4 微旋转机械的实验检测(Ⅲ);概要 (Outline);4 若干动力学问题的研究;4.1 MEMS非线性动力学特性研究;; A. 微尺度下MEMS压膜阻尼特性分析(Ⅱ);B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(Ⅰ) ;B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(Ⅱ) ;B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(Ⅲ);B. 静电驱动MEMS耦合非线性动力特性分析(Ⅳ) ;C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(Ⅰ);C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(Ⅱ);MEMS动力学研究展望 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(Ⅴ) 动力学建模与分析方法 振动、冲击、噪声国家重点实验室 静电微电机横截面示意图 3 MEMS非线性动力学问题 多能域耦合非线性动力特性研究 振动、冲击、噪声国家重点实验室 振动、冲击、噪声国家重点实验室 超高转速工作转子系统的稳定性 Mcirosystem (Europe) 静电微电机横截面示意图 振动、冲击、噪声国家重点实验室;C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(Ⅳ);C. 压电驱动MEMS微悬臂梁振动控制(Ⅴ);4.2 微转子系统摩擦磨损特性研究;;;;C. 微转子轴衬摩擦磨损特性分析 (Ⅰ);C. 微转子轴衬摩擦磨损特性分析 (Ⅱ);;D. 微转子的材料选择 (Ⅰ);D. 微转子的材料选择 (Ⅱ);4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅰ);Vol. (V);4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅲ);4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅳ);4.3 微转子-固定轴承接触问题研究(Ⅴ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅰ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅱ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅲ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅳ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅴ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅵ);;4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ);;4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ);4.4 微转子系统碰摩动力学特性分析(Ⅷ);4.5 微转子系统