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圆偏振光干涉原理介绍 绝大多数光干涉都是通过同频同偏振方向的两束线偏振光进行的。光程差变化将引起干涉条纹的移动（两束光之间有夹角）或干涉场明暗的变化（两束光平行且同轴）。因为干涉图样的变化直接反映了光程差的变化，光程差的变化又反映着位移量的变化，而激光波长的稳定性、微小性使得光干涉测量成为精密测量的重要手段。 基于光干涉的原理，人们发明了迈克尔逊干涉仪，马赫-曾德尔干涉仪等多种干涉仪用于高精度的光程差测量。但基于这种同频同偏振方向的光干涉原理组成的干涉仪有一些缺陷：由于在光程差变化比较缓慢时（既测量镜移动比较缓慢或基本不动），则光探头检测到的是一个变化缓慢的直流信号。直流信号的躁声剔除和误差判断是比较困难的，这使得测量光路的抖动和光强起伏对测量的影响一直成为无法克服的问题，极大的影响了激光干涉测量技术的应用和发展。 为了解决上述困难，1970年惠谱公司发明了双频激光器测量系统。我们知道两个频率相差不太大的激光相互重叠也会发生干涉一一我们会探测到这一个频率的差一一拍频信号，在双频激光测量系统中，这个拍频信号作为参考信号。用其中一个频率的激光进行测量，由于多普勒效应，当测量镜移动时，其频率会发生改变，再与另一频率的激光干涉，产生新的拍频信号，将它与参考拍频信号相减，便可得到被测物位移的信息。因为多普勒效应造成的频率改变能反映被测物是远离（频率下降）还是靠近（频率上升），因此运动方向很容