电子级指标分析和总结.docxVIP

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2023-10-14 发布于上海
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电子级指标分析和总结.docx

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电子用氟化氢铵溶液指标项目低尘高纯指标 MOS 主含量（以NH F 计）% 4 33.8-35 8 。 33.8-35 8 。（以 HF 计）% 5.9-6 9 。 5.9-6 9 。氯化物，ppm ≤ 8 4 硫酸盐，ppm ≤ 2 2 磷酸盐，ppm ≤ 1 1 锂，ppm ≤ 1 0.1 砷，ppm ≤ - - 钠，ppm ≤ 1 0.1 镁，ppm ≤ 1 0.5 铝，ppm ≤ 1 0.5 钾，ppm ≤ 1 0.1 金，ppm ≤ - 0.1 锑，ppm ≤ - 0.1 镍，ppm ≤ 0.3 0.1 钙，ppm ≤ 1 0.5 钛，ppm ≤ - 0.1 铬，ppm ≤ 0.1 0.1 锰，ppm ≤ 0.5 0.1 铁，ppm ≤ 1 0.5 铜，ppm ≤ 0.3 0.1 锌，ppm ≤ 0.5 0.1 钴，ppm ≤ 0.5 - 铅，ppm ≤ - 0.1 镓，ppm ≤ 0.5 0.1 砷，ppm ≤ 0.3 0.1 钼，ppm ≤ - 0.1 银，ppm ≤ 0.5 0.1 镉，ppm ≤ 0.5 0.1 铟，ppm ≤ - 0.1 锡，ppm ≤ 0.5 0.1 钡，ppm ≤ 1 0.1 铂，ppm ≤ - 0.1 铋，ppm ≤ - 0.1 灼烧残渣（以 SO 计） ≤50ppm ≤40ppm 4 颗粒，个/mL ≤ （≥10μm）30 （≥5μm）27 电子用氟化铵溶液指标项指标目低尘高纯 MOS BV-1 SEMI C1 SEMI C7 SEMI C12 主含量（NH F）% 39.0-41 0 39.0-41 0 40.0-41 9 39.0-41 0 39.0-41 0 39.0-41 0 4 。。。。。。色度（APHA）≤ - - - 10 10 10 水溶液PH 值（1%） 6.0-7 。5 6.2-7 0 。 6.1-6 7 。 6.5-7 5 。 6.5-7 5 。 6.5-7 5 。氯化物，ppm ≤ 8 4 0.5 4 2 2 硫酸盐，ppm ≤ 2 2 1 2 2 2 硝酸盐，ppm ≤ - - - 10 3 3 磷酸盐，ppm ≤ 1 1 0.4 1 0.5 0.5 锂，ppm ≤ 1 0.1 0.005 - 0.01 0.001 钠，ppm ≤ 1 0.1 0.05 0.3 0.01 0.001 镁，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 铝，ppm ≤ - 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 钾，ppm ≤ 1 0.1 0.05 0.3 0.01 0.001 金，ppm ≤ - 0.1 0.003 - - - 硼，ppm ≤ - - - 0.2 0.01 0.001 钒，ppm ≤ - - - - 0.01 0.001 锶，ppm ≤ - - 0.001 - - - 锑，ppm ≤ - 0.1 0.01 - 0.01 0.001 铍，ppm ≤ - - 0.005 - - - 镍，ppm ≤ 0.3 0.1 0.005 0.3 0.01 0.001 钙，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 钛，ppm ≤ - 0.1 0.005 0.3 0.01 0.001 铬，ppm ≤ 0.1 0.1 0.005 0.1 0.01 0.001 锰，ppm ≤ 0.5 0.1 0.003 0.2 0.01 0.001 铁，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 铜，ppm ≤ 0.3 0.1 0.005 0.1 0.01 0.001 锌，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 0.2 0.01 0.001 钴，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - - - 铅，ppm ≤ 1 0.5 0.005 0.3 0.01 0.001 镓，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - - - 砷，ppm ≤ 0.1 0.05 0.02 0.03 0.01 0.001 钼，ppm ≤ - 0.1 0.005 - - - 银，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - - - 镉，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - 0.01 0.001 铟，ppm ≤ - 0.1 0.005 - - - 锡，ppm ≤ 0.5 0.003 0.2 0.01 0.001 钡，ppm ≤ 1 - 0.005 - 0.01 0.001 铂，ppm ≤ - - 0.005 - - - 铋，ppm ≤ - - 0.005 - - - 灼烧残渣（以SO 灼烧残渣（以SO 4 50 - - - - - 计），ppm ≤ 颗粒，个/mL （≥ （≥5μm）（≥2μm）（≥1μm）（≥0 5μ