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近代物理实验报告 PAGE PAGE 3 扫描隧道显微镜 物理041班 吕永平 摘 要：通过隧道显微镜对石墨的表面形貌的观测，初步了解扫描隧道显微镜的工作原理。在测量时影响精度的因素。 关键词：扫描隧道；针尖；隧道电流 引 言： 1982年，IBM瑞士苏黎士实验室的葛·宾尼(Gerd Binning)和海?罗雷尔(Heinrich Rohrer)研制出世界上第一台扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope，简称STM）．STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质，在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景，被国际科学界公认为80年代世界十大科技成就之一． 与其它表面分析技术相比，STM具有如下独特的优点：具有原子级高分辨率，可以分辨出单个原子．可实时再现样品表面的三维图像， 可以观察单个原子层的局部表面结构，因而可直接观察到表面缺陷、表面重构、表面吸附体的形态和位置．可在真空、大气、常温等不同环境下工作，样品甚至可浸在水和其它溶液中．不需要特别的制样技术并且探测过程对样品无损伤．这些特点特别适用于研究生物样品和在不同实验条件下对样品表面的评价，例如对于多相催化机理、超导机制、电化学反应过程中电极表面变化的监测等．利用STM针尖，可实现对原子和分子的移动和操纵，这为纳米科技的全面发展奠定了基础． 实验原理： 隧道电流 扫描隧道显微镜的工作原理是基于量子力学的隧道效应．对于经典物理学来说，当一粒子的动能E低于前方势垒的高度V0时，它不可能越过此势垒，即透射系数等于零，粒子将完全被弹回．而按照量子力学的计算，在一般情况下，其透射系数不等于零，也就是说，粒子可以穿过比它的能量更高的势垒，这个现象称为隧道效应，它是由于粒子的波动性而引起的，只有在一定的条件下，这种效应才会显著。 在量子力学理论中，电子具有波动性，其位置是弥散的，在的区域， 薛定谔方程： 的解不一定是零（如果V不是无限大的话）。因此一个入射粒子穿透一个的有限区域的几率是非零的，所以物质表面上的一些电子会散逸出来，在样品四周形成电子云。在导体表面上之外空间的某一位置发现电子的几率会随这个位置与表面距离的增大而呈现指数形式的衰减。隧道效应的物理意义： STM的工作原理来源于量子力学的隧道效应贯穿原理。其核心是一个能在样品表面上扫描，并与样品间有一定的偏置电压，其镇静为原子尺度的针尖，由于电子隧穿的几率与势垒的 宽度呈现负指数关系，当针尖和样品的距离非常接近时，其间的电势变得很薄，电子云相互重叠，在针尖和样品之间施加一电压，电子就可以通过隧道效应由针尖移到样品或从样品移到针尖，形成隧道电流。通过记录针尖和样品间的隧道电流的变化就可以得到样品表面行貌的信息。STM针尖和样品之间构成势垒的间隙S约为。 （2） 公式（2）给出了隧道电流与两电极间的距离S的负指数关系，。其中，为自由电子的质量，为有效平均势垒高度，V为针尖与样品间的偏置电压。 可以看出，粗略的来说，S每改变0.1nm，隧道电流I就会改变一个数量级，因此可以知道隧道电流几乎总是集中在间隙最小的区域。 扫描探针一般采用直径小于1mm的细金属丝，如钨丝，铂—铱丝等，被观测样品应具有一定导电性才可以产生隧道电流。 隧道针尖：如果针尖只有一个稳定的原子而不是有多重针尖，那么隧道电流会很稳定，而且能够获得原子级的分辨图像。电化学腐蚀法制备的针尖所测得图像与真实样品比较接近。但是此法制备的针尖花费大，容易氧化利用率低。 三维扫描控制器：压电陶瓷有压电性质，能将1mV～1000V电压信号转换成十几分之一纳米到几微米的位移。用它制成三维扫描控制器，控制针尖的微小移动。 减震系统：任何微小的震动都会对仪器的稳定产生影响，隔绝震动的方法：提高固有频率和使用震动阻尼系统。 底座结构图：降低大幅度震动带来的影响，另外仪器中对探测部分采用弹簧悬吊的模式，提高固有频率。 2．STM的结构和工作模式 STM仪器由具有减振系统的STM头部、电子学控制系统和包括A/D多功能卡的计算机组成（图2）．头部的主要部件是用压电陶瓷做成的微位移扫描器，在x- y方向扫描电压的作用下，扫描器驱动探针在导电样品表面附近作x- y方向的扫描运动．与此同时，由差动放大器来检测探针与样品间的隧道电流，并把它转换成电压，反馈到扫描器，作为探针z方向的部分驱动电压，以控制探针作扫描运动时离样品表面的高度．STM常用的工作模式主要有以下两种： （1）恒流模式 如图 利用压电陶瓷控制针尖在样品表面x-y方向扫描，而z方向的反馈回路控制隧道电流的恒定，当样品表面凸起