一种离子导引组件检漏方法及装置.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种离子导引组件检漏方法及装置.pdf

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本发明公开了一种离子导引组件检漏方法，属于三重四极杆质谱技术领域，包括以下步骤：将离子导引组件放入检漏腔体中，并将检漏腔体的内部空间分成前级真空、后级真空；关闭针阀，打开抽气泵对前级空间进行抽真空，形成前级真空；通过质谱检漏仪对后级空间进行抽真空，形成后级真空；计算真空计读数、质谱检漏仪读数的差值，并对针阀或者质谱检漏仪的控制阀进行调节，使得前级真空度与后级真空度的差值达到预设范围的最大值；向针阀处喷入惰性气体，观察质谱检漏仪能否检测出所述惰性气体。这样在保证检测精准度的同时，用于检漏的氦气量也

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116858449 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310831465.0 (22)申请日 2023.07.07 (71)申请人济南国科医工科技发展有限公司地址