扫描电镜经典编辑情况总结.docxVIP

^` 扫描电镜（SEM） 透射电镜（TEM）?原子力显微镜（AFM）?X射线衍射（XRD） 元素解析（EA）显微解析技术——电子显微镜 一束电子射到试样上，电子与物质相互作用，当电子的运动方向被改变，称为散射。 透射电子直接透射电子，以及弹性或非弹性散射的透射电子用于透射电镜(TEM)的成像和衍射 二次电子入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部分能量（30～50eV）激发核外电子脱离原子，能量 大于材料逸出功的价电子可从样品表面逸出，成为真空中的自由电子，此即二次电子。在电场的作用下它可呈曲线运动进入检测器，使表面凹凸的各个部分都能清晰成像。 二次电子试样表面状态特别敏感，能有效显示试样表面的 微观容貌；二次电子的分辨率可达5～10nm，即为扫描电镜 的分辨率。 二次电子的强度主要与样品表面容貌有关。二次电子和背景散射电子共同用于扫描电镜(SEM)的成像。 当探针很细，分辨高时，基本收集的是二次电子而背景电子很少，称为二次电子成像(SEI)。 背景散射电子入射电子穿达到离核很近的地方被反射，没有能量损失；既包括与原子核作用而形成的弹性背散射电子，又包括与样 品核外电子作用而形成的非弹性背散射电子，前者的份额远 ^` 大于后者。 背散射电子反应样品表面的不同取向、不同平均原子量的地区差别，产额随原子序数的增加而增加；利用背散射电子为成像信号，可解析容貌特点，也可显