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cvd金刚石薄膜在硬质合金铣刀中的应用 0 复杂形状整体式刀具的制备技术 化学相沉积（rcd）钻石膜具有硬度高、系数低、耐碱性强、表面化学性能稳定等优点的机械和摩擦学性能。它在硬件工作场所提供了广泛的应用前景。CVD金刚石薄膜的制备不受基体形状的制约,非常适合于作为耐磨减摩涂层直接沉积在复杂形状的硬质合金刀具表面,以达到提高刀具使用寿命、改进加工质量等目的。然而,复杂形状整体式刀具自身的结构特点和性能要求使得它对刀具基体表面的预处理工艺、CVD金刚石薄膜的沉积装置以及制备技术均有特殊要求。在复杂形状硬质合金基体表面沉积附着强度高、表面光滑性好的CVD金刚石薄膜的制备技术一直是制约CVD金刚石薄膜涂层刀具大规模产业化应用的技术难题之一,这极大地限制了CVD金刚石薄膜的应用范围。 本文基于热丝化学气相沉积法(hotfilamentchemicalvapordeposition,HFCVD),针对具有复杂形状外表面的硬质合金整体式刀具,采用特殊的热丝排布方式,开发了专用的CVD金刚石薄膜沉积装置,在复杂形状整体式刀具表面沉积了高质量的金刚石薄膜,并采用石墨以及碳化硅铝基增强复合材料(Al/SiC-MMCs)作为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能,揭示了金刚石薄膜作为耐磨材料应用在硬质合金刀具表面的优越性,为金刚石薄膜的进一步产业化应用奠定了基础。 1 用