基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究的中期报告.docxVIP

基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究的中期报告 本研究旨在探索一种基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术。在中期研究中，我们已经完成了以下工作： 1. 系统构建 我们搭建了一套用于测量表面形貌的实验系统。该系统主要由激光发生器、分束器、参考平面、待测物体、像面镜和相机等组成。 2. 参数优化 针对实验系统中有关参数的选择问题，我们针对各参数的影响进行了详细的分析和优化，包括激光波长、相位移量、相机分辨率等。 3. 测量方法 我们尝试了多种测量方法，包括单像素点测量和双像素点测量等，并在不同场景下对比了这些方法的测量效果。 4. 数据处理 在实验数据的处理方面，我们主要采用了相位提取和三维重建等算法，对实验结果进行了分析和处理。 5. 实验结果 经过一系列的实验和数据分析，我们得到了一些初步的实验结果，在测量精度和测量速度方面都取得了一定的进展。 总结： 本研究的中期报告主要针对目前已经完成的工作进行了总结和分析，主要的贡献包括系统构建、参数优化、测量方法探索、数据处理和实验结果等方面。在后续的研究中，我们将进一步优化实验系统，改进测量方法，提高精度和速度，以达到更好的实验效果。