万级洁净室环境标准.docxVIP

万级洁净室环境标准 一、空气洁净度 万级洁净室内的空气洁净度需达到ISO 14644-1标准，具体要求如下： 悬浮粒子最大允许浓度（PC）为3520（ISO 9374）。 动态测试时，空气洁净度级别应达到ISO 14644-2标准中的99.9%级别。 二、温度和湿度 万级洁净室的温度应保持在18-26℃，相对湿度应保持在40%-65%。 温度和湿度的波动不应影响洁净室内的空气洁净度。 三、压差 万级洁净室应保持正压，与相邻区域之间的压差应大于5Pa。 四、噪声和振动 万级洁净室的噪声不应超过50dB（A）。 洁净室内不宜设置振动源，以防止影响洁净效果。 五、光照和照度 万级洁净室内的照明应采用无尘灯，照度应不小于300Lx。 灯具的布置应避免产生阴影和眩光。 六、空气流动速度 万级洁净室内的空气流动速度应控制在0.25-0.5m/s之间，以保证空气的充分循环。 七、空气过滤 万级洁净室应采用高效过滤器进行空气过滤，确保进入室内的空气达到洁净要求。 过滤器的效率应不低于99.97%，以防止尘埃粒子进入洁净室内。 过滤器的更换和维护应按照厂家建议进行，以保证其正常运转。