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激光产生激光激励的准分子 1 准分子激光概述 准分子检测器是目前紫外波输出最大的检测器，广泛应用于工业、医疗、科研等领域。自1970年H.G.Bosov采用强流电子束激发液态氙得到Xe2准分子激光输出,40年来,准分子激光器得到了迅速发展。特别是稀有气体卤化物准分子激光器,由于其输出激光峰值功率高、脉冲能量大、波长在紫外区的特点,发展迅速并得到了广泛的应用,是目前主要使用的准分子激光器。 2007年光刻用准分子激光器的销售额达3.99亿美元,即使是受金融危机影响的2009年销售额仍然为1.35亿美元,其市场占有率在所有工业应用激光器(非激光二极管)中名列第三,仅次于固体激光器和CO2激光器。 本文首先介绍了准分子激光能级结构和光谱特性;回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史;简单介绍了准分子激光的激励方式;着重介绍了快放电激励实用准分子器件的相关技术;分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展;最后举例介绍了准分子激光在不同领域的应用。 2 总结 2.1 准分子激光器 准分子是一种在激发态复合成分子, 而在基态离解成原子的不稳定缔合物。准分子激光跃迁发生在束缚的激发态到排斥的基态, 属于束缚-自由跃迁。准分子英文名称excimer是“excited dimer”的缩写。Excimer原单指二聚体的同核准分子,后来诞生的稀有气体卤化物等异核准分子被称为exciplexes(excited complexes的缩写)。但出于习惯的叫法,后来所有准分子都被称为excimer。 图1为典型的准分子位能曲线,X为排斥基态,B为最低激发态,C为更高的激发态。准分子的特征谱是由B态到排斥基态X的跃迁。一般情况下,B态自发辐射寿命为几十纳秒,而基态X在10-13s内便离解,是振动弛豫时间的量级。 设R0是B态的平衡核间距,即对应R0处B态位能曲线具有最小值,则按Franck-Condon原理,在R0附近的Franck-Condon区内有最大的跃迁几率。又因为基态X在R0附近是排斥的,处于这一核间距的基态分子将迅速离解,而使之保持抽空状态。因此,在R0附近的Franck-Condon区内很容易建立起粒子数反转,能够获得很高的增益系数,而且,由于跃迁终止于基态,不存在一般四能级系统的激光下能级到基态的无辐射损失,本质上可做成量子效率很高的激光器。 另一方面,由于跃迁终止于排斥的基态,没有瓶颈效应的限制,所以拉长脉宽和高重复频率运转都没有原则性困难。最后,由于准分子的荧光谱是一连续带,为在一定谱宽内连续调谐的激光器的制造提供了依据。 准分子激光可分为四类: 1) 稀有气体准分子,如Xe2,Kr2,Ar2等; 2) 稀有气体卤化物准分子,如XeF,ArF,XeCl等; 3) 卤素气体准分子,如F2等; 4) 稀有气体和卤素气体三原子准分子,如Ar2Cl,Ar2F等。 不同准分子激光发射波长不同,发射带宽示意图如图2所示。 早在激光器刚刚出现的1960年,F.G.Houtermans就提出了准分子束缚-自由电子跃迁产生增益的思想,即以准分子为激活介质实现激光振荡。1970年俄罗斯的N.G.Bosov等采用强流电子束激发液态氙得到Xe2准分子激光输出,辐射波长为172 nm,这是首次用准分子跃迁得到激光振荡。1972年美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)的H.A.Koehler等研制成功了气相Xe2准分子激光,中心波长为170 nm。不久,Hoff等制成了145.7 nm的Kr2和126.1 nm的Ar2激光。1974年劳伦斯利弗莫尔国家实验室Powell等又提出了以稀有气体氧化物准分子和金属蒸气-稀有气体准分子作为激光介质的设想,并在同年,实现了XeO,KrO和ArO绿带激光振荡。1975年J.E.Velazco等观察到KrF,ArF,XeF和KrCl辐射谱线上准分子的能级跃迁,提出了用它们作激活介质的建议。同年,美国海军实验室(NRL)的S.K.Searles等用电子束激励Xe,Br2混合气体,得到XeBr准分子激光辐射,波长为281.8 nm。之后,J.J.Ewing等先后实现了XeF,KrF,ArF,XeCl,KrCl,ArCl的激光辐射,激励方式也由纯电子束扩展到预电离放电、自持放电等多种形式。相关动力学过程研究和反应速率及有关参量的测量工作非常活跃。 由于准分子激光器的特殊用途,一些国家先后开展过一些重要研究计划,如围绕惯性约束核聚变的实验研究。美国洛斯阿拉莫斯国家实验室(LANL)1982年开始研制Aurora KrF准分子激光系统,1988年实现2.5 kJ,脉宽5 ns输出;美国海军实验室(NRL)研制了Nike准分子激光系统,1995年投入运行,输出5 kJ,脉宽4 ns;日本电子技术实验室于1999年建成Super-Ashur