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本发明提供一种掩模组件。掩模组件包括：框架，包括框架开口部；开放片材，包括与所述框架开口部对应的多个片材开口部及各自包括与所述多个片材开口部中的对应的片材开口部隔开的多个吸附孔的多个孔组，并且与所述框架结合；以及多个掩模，各个所述多个掩模包括多个沉积开口部，并且以与所述多个片材开口部中的对应的片材开口部对齐的方式与所述开放片材结合，其中，所述多个掩模中的每一个与所述多个孔组中的对应的孔组的所述吸附孔重叠。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117070888 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310552558.X
(22)申请日 2023.05.16
(30)优先权数据
10-2022-0059657
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