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- 2023-11-18 发布于四川
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本发明涉及新颖锍盐、抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明提供溶剂溶解性优异、且高感度、高对比度、曝光余裕度、LWR等光刻性能优异的抗蚀剂组成物使用的锍盐、含有该锍盐作为光酸产生剂的抗蚀剂组成物、及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。本发明是一种下式(1)表示的锍盐。式中，p为1～3的整数。R11为碳数1～20的烃基。Rf表示氟原子、碳数1～6的含有氟原子的烷基、烷氧基、硫醚基。q表示1～4的整数。RALU表示酸不稳定基团。r为1～4的整数。R12为碳数1～20的烃基。s为0～4的整数。t表示0～2的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117069633 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310534593.9 G03F 7/20 (2006.01)
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