一种新型微化学反应器的设计与实现.docxVIP

一种新型微化学反应器的设计与实现 微器通常是指由微加工和精确加工技术制成的小型反应系统。微液通道的尺寸为每毫米上的1ms，微液通道的尺寸为每毫米上的1ms。过去几十年,微反应器的应用已经显示了其优势,不仅具有所需空间小、质量和能量消耗少以及响应时间短的优点,更重要的是其在单位体积和单位时间内得到的信息量明显较大。在微反应器内,随着线尺度的减小,一些物理量的梯度很快增加,例如温度梯度、压力梯度、浓度梯度以及密度梯度,使微反应器的转化率、选择性有了明显的提高,传热系数和传质性能与传统设备相比也得到很大提高,而且可以保证流体流动的均匀性和理想性。现在微反应技术吸引了众多研究者在各个领域展开深入的研究,成为化学工程学科发展的一个新突破点。 文献报道较多的微反应器是外形尺寸小、集多种功能于一身的用半导体集成电路工艺(IC工艺)在芯片上制造的微芯片,IC工艺最大优点之一是外形尺寸小,适合于微细化及大批量生产,但其制造周期长、成本高,设备投资大。本文采用玻璃微制造方法,结合激光雕刻工艺制备出属于微特性系统的微反应器,研究了其制备方法和微化学反应的实现机理,该反应器制备方法简单,成本低廉,微流道光滑流畅,流动阻力小,利用微流体数字化技术实现了微化学反应。 1 玻璃精细加工和微反应腔的激光加工 1.1 材料和加工方法 1.1.1 操作应用效果 制造微反应器使用的材料比较广泛,如金属、聚合物、陶瓷、